産業用機器の高機能化に伴い、搭載される電子部品点数が増えていることから、センサパッケージの小型化が求められている。
さらに、産業用機器の自動運転化により、動作している物体の姿勢角（以下、動的姿勢角）や、自己位置を正確に取得するニーズが高まっている。
センサ各軸（X軸・Y軸・Z軸）の直交性は、動的姿勢角をより正確に推定するために重要な要素で、直交性を担保するために、これまではキャリブレーションといわれる補正プロセスを、ユーザ側で追加する必要があった。
こうした中、株式会社村田製作所は、姿勢角・自己位置検知が可能な小型6軸慣性力センサ「SCH16T-K01」を、主に産業機器用途に向けて開発した。
すでにサンプル提供を開始しており、量産開始は2024年3月を予定している。今後は、「SCH16T-K01」をはじめ、次世代6軸製品SCH16Tシリーズはラインナップを拡充していく予定だ。
「SCH16T-K01」の主な特長
MEMSジャイロ
- ジャイロアラン分散（底値） 0.5deg/h 以下
- ジャイロノイズ 0.3 mdps/ √ 𝐻𝑧 以内
- リニアリティ 0.02dps(ジャイロ) 0.06m/s^2（加速度） ※全温度範囲
ジャイロおよび加速度各軸の直交性を補正したセンサ出力
- 軸直交性Error値 0.3deg以下 ※全温度範囲
パッケージサイズ
- 12mmx14mmx3mm（長さｘ幅ｘ高さ）