ギガフォトン、EUV光源で出力108W、24時間の安定発光に成功
リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプ機において、エネルギー安定性平均0.5%以下にて、ロジック生産適用可能レベルである … Read more
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