ギガフォトン（Gigaphoton）

リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機において、エネルギー安定性平均0.5%以下にて、ロジック生産適用可能レベルである … Read more