凸版印刷、高可撓性・高耐久性・高キャリア移動度を兼ね備える新規構造フレキシブル薄膜トランジスタを開発

近年、折り畳み式スマートフォンなどに利用されているフレキシブルエレクトロニクスは、ウェアラブルセンサや遠隔患者モニタリングをはじめとする医療機器、スマートパッケージ、電子テキスタイルといった消費者向け製品などの幅広い用途でその開発が期待されている。

フレキシブルエレクトロニクスの薄膜トランジスタ(Thin-film-transistor、以下TFT)としては、可撓性や軽量性などの点から有機TFTが有力視されているが、キャリア移動度が低く、信頼性や耐久性に劣るなど多くの課題が残されている。

一方で、シリコン系や酸化物の半導体からなる無機TFTはキャリア移動度が高く、量産工程も確立しているが、可撓性には改善の余地がある。そのためキャリア移動度と可撓性、耐久性すべての特性を満たすTFTの開発が切望されている。

このような課題に対し、凸版印刷株式会社は、高可撓性と高耐久性、高キャリア移動度を兼ね備える新規構造フレキシブルTFTを開発した。

同開発品は、曲率半径1mmで100万回折り曲げ可能な高可撓性と高耐久性だけでなく、キャリア移動度10cm2/Vs以上で電源On/Off比107以上など実用的な特性を示したという。

凸版印刷は、同開発品とセンシング部材を組み合わせることで、高可撓性/高耐久性を求められるフレキシブルセンサの実現を目指すとしている。

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