第一精工が匂いセンサ事業へ参入、圧電薄膜を用いたMEMS技術で小型・低コスト化

第一精工株式会社は、圧電薄膜を用いた微小電気機械システム(MEMS)の技術を活用した匂いセンサ事業に参入すると発表した。

同社の匂いセンサは、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の圧電薄膜に異なる感応膜を塗布した直径0.6ミリの検知素子7種類を1枚のセンサチップ上に搭載。電圧をかけて共振する感応膜に匂い分子を付着させ、共振周波数の変化から数値データを取得、パターンを照合することで匂いを識別するというものだ。

PZTの圧電薄膜を用いたMEMSの活用により、小型・低コスト化が見込め、また検知素子(=感応膜)の数を増やすことで、より多くの匂いが識別可能になるという。

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第一精工(Dai-ichi Seiko)

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