近年、製造業の現場では、AI監視による製造装置の異常検知や故障予測などの予知保全により、品質担保や生産性の向上が期待されている。しかし、現場によっては製造装置の種類が多く、同じ製造装置でも装置ごとの特性や製造品の違いによって稼働状態が異なるため、装置ごとに稼働の監視用AIを開発する必要がある。製造装置の監視システムへの組み込みにも工数がかかるためAI監視の導入が難しく、効率的な保全による生産性向上が期待できない状況だ。
そこで、東京エレクトロン デバイス株式会社（以下、TED）は、生産設備の稼働状態変化を検知する稼働監視AIの生成・監視を自動で行い、稼働監視運用を支援するクイックAI監視ソフトウェア「CX-W」を開発し、本日から販売を開始した。
CX-Wは、製造装置から通常稼働中のデータを取りこみ、その数値分布や相関関係を学習し、装置の種類や特性、製造品などに合わせた装置ごとの監視用AIを現場で自動生成し、リアルタイムに稼働監視し変化をとらえる。学習データを個別に用意する必要がなく、監視用PCにインストールするだけで簡単に監視用AIの生成・監視ができる。
また、監視中に製造装置の稼働状態に変化があった場合は、原因となったデータの種類と変化の度合いを示す警告指数を判定結果としてPC上に表示し、ユーザーはすぐに予知保全対策を講じることができる。
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